

無塵車間凈化工程和潔凈室凈化工程都屬于是凈化工程,但是缺略有不同。具體有什么不同之處呢?請看以下分析:
凈化車間最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產品能在一個出色之環境空間中出產、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際常規,無塵凈化等級主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于區別標準的粒子數量來規范。
也便是說所謂無塵并非100%沒有一點塵土,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合塵土標準的顆粒相對于我們常見的塵土已經是小的微乎其微,但是關于光學布局而言,哪怕是一點點的塵土都會發作非常大的負面影響,所以在光學布局產品的出產上,凈化車間無塵是一定的需要。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。當時應用在芯片級出產加工的無塵標準關于塵土的需要高于A 級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片出產上。5μm及以下的微塵數量被嚴峻控制在每立方米1000個以內,這也便是業界俗稱的1K等級。
潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、 靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能特性。